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- 產(chǎn)品名稱：ET3000微細(xì)形狀測(cè)定儀
- 產(chǎn)品型號(hào)：ET-3000
- 產(chǎn)品價(jià)格：0.00 元
- 折扣價(jià)格：0.00 元
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簡(jiǎn)單介紹
ET3000微細(xì)形狀測(cè)定儀
(1)的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度。
(2)超高真直度，可確保量測(cè)圖形不受任何影響，并可在真直度的保證下進(jìn)行長(zhǎng)距離測(cè)量。
(3)采用超低噪音直動(dòng)式 LVDT，超低測(cè)定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。
(4)配備高分辨率的 CCD 即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量。
(5)可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際規(guī)范，測(cè)定參數(shù)多達(dá) 60 多種。
產(chǎn)品描述
ET3000微細(xì)形狀測(cè)定儀
ET3000微細(xì)形狀測(cè)定儀產(chǎn)品描述：
(1)的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度。
(2)超高真直度，可確保量測(cè)圖形不受任何影響，并可在真直度的保證下進(jìn)行長(zhǎng)距離測(cè)量。
(3)采用超低噪音直動(dòng)式 LVDT，超低測(cè)定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。
(4)配備高分辨率的 CCD 即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量。
(5)可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際規(guī)范，測(cè)定參數(shù)多達(dá) 60 多種。
(6)適用于各種與納米材料有關(guān)的MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。
ET3000微細(xì)形狀測(cè)定儀參數(shù)：
一、測(cè)定工件：
1. 大工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm
2. 大工件厚度 50mm
3. 大工件重量 2kg
二、檢出器(pick up)：
1. Z 方向測(cè)定范圍 Max. 100μm
2. Z 方向分解能 0.1nm
3. 測(cè)定力 0.5 μN(yùn) to 500 μN(yùn)
4. 觸針半徑 0.5 , 2 μm
5. 驅(qū)動(dòng)方式 直動(dòng)式
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：
1. 移動(dòng)量(大測(cè)長(zhǎng)) 100mm
2. 移動(dòng)的真直度 0.005μm/5mm
3. 測(cè)定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位時(shí)速度 Max. 10mm/S
5. 線性尺(linar scale) 分解能 0.01μm
6. 位置定位再現(xiàn)性 ± 5μm
7. 滑軌 材質(zhì)為在鑄鐵(CD-5)上,鍍上硬質(zhì) Cr,無(wú)潤(rùn)滑(于移動(dòng)臺(tái)側(cè),使用鐵弗龍折動(dòng)材料)
8. 驅(qū)動(dòng) DC motor + Dynamic belt
四、Y 軸(位置決定用)：
1. 移動(dòng)量 52mm
2. 移動(dòng)速度 max.3mm/S
3. 滑軌 Crose roller 滑軌
4. 驅(qū)動(dòng) DC motor + 滾珠螺桿(P=2mm)
5. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
五、工件臺(tái)：
1. 工件臺(tái)尺寸 210mm×210mm
2. 自動(dòng)傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm
3. 分解能 0.25μm
4. 驅(qū)動(dòng) pulse motor
六、全自動(dòng)量測(cè)功能
七、工件觀察 max. 80倍(可選購(gòu)其它高倍率 CCD)
八、床臺(tái) 材質(zhì)為花崗巖石
九、段差測(cè)定再現(xiàn)性 1δ, 5A°以內(nèi)
十、防振臺(tái)(選購(gòu)) 落地型或桌上型
十一、電源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十二、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺(tái))
ET3000
ET3000微細(xì)形狀測(cè)定儀
